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一种基于柔性薄膜的MEMS执行器

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摘要

本实用新型公开了一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，构成包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。本实用新型具有优异的柔韧性和高断裂强度，大大增加了设备的稳定性和效能以及使用寿命。本实用新型还采用磁性复合层来替代永磁铁的使用，可以同时保证薄膜的柔性和磁力的强度，提高了实用性和便利性。

著录项

  • 公开/公告号CN207581351U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2018-07-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 爱科赛智能科技(台州)有限公司;

    申请/专利号CN201721790893.X

  • 发明设计人 黄继宝;钱金贵;冮建华;黄波;

    申请日2017-12-20

  • 分类号B81B3/00(20060101);B81B7/02(20060101);B81C1/00(20060101);

  • 代理机构33234 杭州新源专利事务所(普通合伙);

  • 代理人余冬

  • 地址 317527 浙江省台州市温岭市温峤镇莞渭童村

  • 入库时间 2022-08-22 05:35:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-03

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B81B3/00 登记号:Y2019330000302 登记生效日:20191211 出质人:爱科赛智能科技(浙江)有限公司 质权人:浙江泰隆商业银行股份有限公司台州温岭支行 实用新型名称:一种基于柔性薄膜的MEMS执行器 授权公告日:20180706 申请日:20171220

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2019-12-13

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B81B3/00 变更前: 变更后: 申请日:20171220

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2018-07-06

    授权

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