首页> 中国专利> 界面缺陷表征结构及界面缺陷检测装置

界面缺陷表征结构及界面缺陷检测装置

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种界面缺陷表征结构及界面缺陷检测装置。所述界面缺陷表征结构包括：衬底；栅介质层，位于所述衬底表面；栅极层，包括位于所述栅介质层表面的第一栅极层和位于所述栅介质层沿沟道宽度方向上的相对两侧的第二栅极层，所述第一栅极层与所述第二栅极层掺杂的离子类型相反。本实用新型能够有效的表征栅介质层与栅极层接触界面的缺陷密度。

著录项

公开/公告号CN208674068U

专利类型实用新型
公开/公告日2019-03-29

原文格式PDF
申请/专利权人长江存储科技有限责任公司;
展开▼

申请/专利号CN201821484626.4
发明设计人杨盛玮;韩坤;
展开▼

申请日2018-09-11
分类号
代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人董琳
地址 430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
入库时间 2022-08-22 08:38:24

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-29

授权

授权

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 界面缺陷表征结构及界面缺陷检测装置 [P] . 中国专利： CN208674068U . 2019.03.29
2. 界面缺陷表征结构的形成方法 [P] . 中国专利： CN109300878B . 2020.04.10
3. Method for manufacturing structure, involves treating outlying area of localized interfaces, selecting localized sealing of interface, and detecting localized defect formation in layer between interfaces [P] . 法国专利： FR2995446A1 . 2014-03-14

机译：一种制造结构的方法，包括处理局部界面的外围区域，选择界面的局部密封，以及检测界面之间的层中的局部缺陷的形成。
4. STRUCTURE SURFACE DETERIORATION DIAGNOSIS DEVICE AND METHOD USING UNMANNED AERIAL VEHICLE AND SENSOR INTERFACE [P] . 韩国专利： KR20190027997A . 2019-03-18

机译：使用无人飞行器和传感器界面的结构表面缺陷诊断装置和方法
5. COUPLING STRUCTURE AND A MANUFACTURING METHOD THEREOF, CAPABLE OF PREVENTING SHORT DEFECT ON AN INTERFACE BETWEEN A TERMINAL AND AN ELECTRODE [P] . 韩国专利： KR20100003707A . 2010-01-11

机译：能够防止端子和电极之间的界面上的短缺陷的耦合结构及其制造方法