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压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计

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本实用新型公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所述中间极板构成第一电容，所述下极板与所述中间极板构成第二电容，所述第一电容与所述第二电容构成一对差分电容；所述振动台包括反馈层和振动层，所述反馈层位于所述下极板下侧，所述振动层位于所述反馈层下侧；所述反馈层表面引出反馈输出正电极和反馈输出负电极，所述振动层表面引出驱动正电极和驱动负电极。采用本实用新型的表芯和加速度计能够实现对振动层振动幅度的检测。

著录项

公开/公告号CN208766198U

专利类型实用新型
公开/公告日2019-04-19

原文格式PDF
申请/专利权人中国工程物理研究院电子工程研究所;
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申请/专利号CN201821447602.1
发明设计人刘显学;赵宝林;顾昊宇;周浩;唐彬;杨杰;谢国芬;
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申请日2018-09-05
分类号
代理机构北京高沃律师事务所;
代理人程华
地址 621000 四川省绵阳市919信箱512分箱
入库时间 2022-08-22 08:53:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-21

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P15/09 授权公告日:20190419 终止日期:20190905 申请日:20180905

专利权的终止
2019-04-19

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