• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组

一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本实用新型公开了一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组，所述高精度探针定位模组包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块、低倍光源检测模块、CCD图像传感器、和光路切换模块，所述光路切换模块包括光路切换机构，所述光路切换机构包括转动连接在探针检测盒内的切换连杆，驱动切换连杆转动的切换气缸以及被驱动连杆带动的遮挡板，所述遮挡板移动过程中分别对高倍光源模块和低倍光源模块进行遮挡，通过上述设置，使用时先利用低倍光源检测模块进行检测，当CCD图像传感器检测到探针卡位置后，控制切换气缸动作，带动遮挡板进行移动，切换至高倍光源检测模块，对探针位置进行精确定位，控制方便，检测效率高。

著录项

  • 公开/公告号CN209182371U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2019-07-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市矽电半导体设备有限公司;

    申请/专利号CN201821360518.6

  • 发明设计人 韦日文;雷迪;林生财;

    申请日2018-08-22

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区

  • 入库时间 2022-08-22 10:03:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-10

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R1/073 变更前: 变更后: 申请日:20180822

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2019-07-30

    授权

    授权

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号