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一种静电势阱磁约束装置

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本实用新型公开一种静电势阱磁约束装置，包括筒体、电磁线圈、第一电源、第二电源和截止阀，所述电磁线圈与第二电源电连接，所述电磁线圈套设于筒体的外侧以使筒体内形成电磁场，所述筒体内装设有电极环，所述电极环的一端与第一电源电连接，所述筒体设有开口，所述电极环的另一端穿过开口与截止阀电连接，所述筒体接地线。本实用新型能对脱离靶材的等离子体进行加功，以此使全部等离子体能溅射到基材上，有效提高溅射效果，稳定溅射质量。

著录项

公开/公告号CN209741261U

专利类型实用新型
公开/公告日2019-12-06

原文格式PDF
申请/专利权人东莞市鑫钛极真空科技有限公司;
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申请/专利号CN201920085769.6
发明设计人陈大民;党卫安;
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申请日2019-01-18
分类号
代理机构东莞众业知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人何恒韬
地址 523000 广东省东莞市中堂镇三涌村鸭片塘
入库时间 2022-08-22 11:38:03

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2019-12-06

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