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氧化锡氧化铝基低浓度丙酮气体传感器及其制备方法

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本发明涉及一种低浓度丙酮气体传感器的制备方法，属于金属氧化物半导体气体传感器制备工艺技术领域。本发明的气体传感器主要特点是：在氧化铝陶瓷管表面涂覆了双层具有多孔结构的纳米敏感材料，内层基体材料为Pt掺杂的纳米多孔SnO₂，外层增敏材料为纳米多孔Al₂O₃。将涂上Pt掺杂的多孔SnO₂基体材料的气敏元件经500℃焙烧2小时后，再将多孔Al₂O₃增敏材料均匀涂覆在外表面；室温下晾干后，按厚膜半导体气敏元件制作工艺进行焊接（包括引线铂丝及陶瓷管空腔内的镍-镉加热丝）；老化，封装，即制得低浓度丙酮气体传感器。本发明制得的传感器对丙酮气体具有检测限低、响应恢复时间快、稳定性好等优点。

著录项

公开/公告号CN104820068B

专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-29

原文格式PDF
申请/专利权人上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司;
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申请/专利号CN201510192671.7
发明设计人何丹农;陈俊琛;金彩虹;
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申请日2015-04-22
分类号G01N33/00(20060101);
代理机构31121 上海东方易知识产权事务所;
代理人唐莉莎
地址 200241 上海市闵行区江川东路28号
入库时间 2022-08-23 09:42:22

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-04-14

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N33/00 授权公告日:20160629 终止日期:20190422 申请日:20150422

专利权的终止
2016-06-29

授权

授权
2016-06-29

授权

授权
2015-09-02

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/00 申请日:20150422

实质审查的生效
2015-09-02

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 33/00 申请日:20150422

实质审查的生效
2015-08-05

公开

公开
2015-08-05

公开

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