公开/公告号CN209963021U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-01-17
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市艾特自动化有限公司;
申请/专利号CN201921158393.3
申请日2019-07-22
分类号
代理机构深圳市中科创为专利代理有限公司;
代理人谭雪婷
地址 518000 广东省深圳市宝安区福永街道怀德翠岗西路北方骏亿商务大厦4011
入库时间 2022-08-22 12:15:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-17
授权
授权
机译: “一种用于在传统干燥带式炉中干燥/固化硅片上筛网图案的装置,以防止硅片直接与带接触,从而消除硅片的污染”
机译: 在线式芯片实验室系统,用于根据红细胞膜的滑动来测量速度差异以及光学检测系统
机译: 改进的在线式泄漏检测系统和水流监测机