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公开/公告号CN211435747U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 京能秦皇岛热电有限公司;
申请/专利号CN201921379003.5
发明设计人 董云青;李树明;鲁凤鹏;刘青松;毕学坤;董彬;张志伟;
申请日2019-08-23
分类号B01D53/80(20060101);B01D53/50(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人薛平;谷敬丽
地址 066004 河北省秦皇岛市经济技术开发区京能路1号
入库时间 2022-08-22 16:32:06
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机译: 用于CMP工艺的双流体电浆喷嘴系统和使用该浆液提供浆的方法
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