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激光刻蚀装置和激光加工系统

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本实用新型提供了一种激光刻蚀装置和激光加工系统，其中，激光刻蚀装置包括聚焦场镜、反射镜组、若干振镜以及若干激光发生器；所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方；若干所述振镜围设于所述反射镜组四周；每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧，每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。本实用新型的技术方案提供了一种结构较为简化的激光刻蚀装置。

著录项

公开/公告号CN211804404U

专利类型实用新型
公开/公告日2020-10-30

原文格式PDF
申请/专利权人深圳市牧激科技有限公司;
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申请/专利号CN201921348575.7
发明设计人岳国汉;
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申请日2019-08-16
分类号B23K26/362(20140101);B23K26/064(20140101);
代理机构44542 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司;
代理人张小容
地址 518000 广东省深圳市龙岗区坂田街道布龙335龙景工业园F栋102室、202室
入库时间 2022-08-22 17:35:32

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