法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-29
授权
授权
2014-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/418 申请日:20120704
实质审查的生效
2014-04-02
公开
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机译: 等离子处理设备(PLASMA Processing Apparatus)
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