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用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬

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本实用新型提供了一种用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，包括处于中心轴处的阴极以及同心套装在阴极外部的至少一个圆筒状辅助电极；阴极和辅助电极之间以及相邻的辅助电极之间均设有隔离密封环；最外层的辅助电极外部套装有阳极，阳极整体呈环形，阳极下端向内收拢成弧形，该弧形位于阴极的下方；阳极外部套有稳弧磁场线圈；稳弧磁场线圈下方设置有扩弧磁场线圈。本实用新型所述的用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，结构简单，气体沉积面积大，适用于大尺寸热沉金刚石的制备。

著录项

公开/公告号CN212163809U

专利类型实用新型
公开/公告日2020-12-15

原文格式PDF
申请/专利权人天津市宝利欣超硬材料有限公司;
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申请/专利号CN202021316028.3
发明设计人裴珍玉;张代涛;
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申请日2020-07-07
分类号H05H1/34(20060101);H05H1/28(20060101);
代理机构12226 天津企兴智财知识产权代理有限公司;
代理人蒋宏洋
地址 300402 天津市北辰区科技园区淮河道地天泰工业园内C座
入库时间 2022-08-22 18:36:54

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