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喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统

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本实用新型实施例涉及半导体芯片制造工艺中的废气过滤技术领域，具体而言，涉及一种喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统。该喷淋式滤酸水淋装置包括箱体、进风管道、排风管道和喷淋件。其中，箱体的空腔内设置有将空腔分隔为进风腔和排风腔的分隔板，且分隔板与箱体的底壁之间存在间隙。进风管道与进风腔连通且排风管道与排风腔连通，喷淋件从箱体的顶壁伸入进风腔并位于进风口和箱体的底壁之间。这样，能够使得喷淋件喷出的水雾对通过进风管道进入进风腔的酸气进行溶解，从而实现对酸气的过滤，以减少酸气的对外排放。

著录项

公开/公告号CN212348265U

专利类型实用新型
公开/公告日2021-01-15

原文格式PDF
申请/专利权人吉林华微电子股份有限公司;
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申请/专利号CN202020975015.0
发明设计人刘明辉;马志峰;田立园;
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申请日2020-06-02
分类号B01D53/18(20060101);B01D53/14(20060101);
代理机构51310 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人唐维虎
地址 132000 吉林省吉林市高新区深圳街99号
入库时间 2022-08-22 19:11:17

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