公开/公告号CN212541061U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-02-12
原文格式PDF
申请/专利权人 上海宝准电源科技有限公司;嘉兴伏尔电子科技有限公司;
申请/专利号CN202021193423.7
申请日2020-06-24
分类号G05B19/042(20060101);G01D21/02(20060101);
代理机构33253 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙);
代理人廖银洪
地址 200030 上海市徐汇区桂箐路19号5幢3层2305室
入库时间 2022-08-22 19:42:22
机译: 压力式流量控制器的压力传感器,压力控制器和温度漂移校正装置
机译: 基于压力的流量测量装置及能够测量半导体工艺中使用的气体流量的流量控制器
机译: 一种用于离心式压缩机和泵的控制装置,其中,在通过压力调节器设置流量调节构件的驱动装置之后,通过速度控制器对所述构件进行进一步调节