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一种背面感压绝压压力传感器

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本实用新型公开了一种背面感压绝压压力传感器，其包括外壳体、压力敏感芯片以及连接线路，外壳体上设有安装部以及第一导压孔；压力敏感芯片的上部集成有电气元件以及感压膜片，压力敏感芯片的下部设有第二导压孔；连接线路伸入外壳体后连接至压力敏感芯片的上部；本实用新型通过在压力敏感芯片的下部设有第二导压孔，并将电气元件和感压膜片集成在压力敏感芯片的上部，第二导压孔的两端分别密封连接至感压膜片和第一导压孔，从而使得在进行压力检测时，介质只通过第一导压孔和第二导压孔接触到感压膜片，从而形成背面感压，无需考虑介质是否会对其他组成部件造成影响，使得压力传感器具有良好的介质兼容性。

著录项

  • 公开/公告号CN213148183U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-05-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 厦门乃尔电子有限公司;

    申请/专利号CN202022214591.6

  • 发明设计人 戴志华;蔡春梅;翁新全;许静玲;柯银鸿;

    申请日2020-09-30

  • 分类号G01L9/06(20060101);G01L19/14(20060101);G01L19/00(20060101);

  • 代理机构11331 北京康盛知识产权代理有限公司;

  • 代理人梁锦平

  • 地址 361000 福建省厦门市海沧区坪埕中路29号一层至五层

  • 入库时间 2022-08-22 21:20:37

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