公开/公告号CN214201078U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-09-14
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申请/专利权人 杭州表面力科技有限公司;
申请/专利号CN202023222363.X
发明设计人 蒋振豪;
申请日2020-12-28
分类号G01N13/00(20060101);G01N21/45(20060101);G01N21/01(20060101);
代理机构33360 杭州正南创想专利代理事务所(普通合伙);
代理人杨丽萍
地址 310000 浙江省杭州市滨江区浦沿街道伟业路3号C幢2楼250室
入库时间 2022-08-23 00:23:10
机译: 干涉技术测量样品中不可逆的光学效应
机译: 干涉仪光学器件的光学元件的处理方法,涉及基于干涉测量和干涉仪光学器件的特性确定光学元件的光学表面与目标形状的偏差。
机译: 基于直角入射光束偏转法的超光滑表面光学轮廓仪