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一种化学气相沉积室压强自适应模糊控制系统

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本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，尤其是一种化学气相沉积室压强自适应模糊控制系统，包含沉积室，所述沉积室顶部与真空泵组相连，所述沉积室底壁设置有进气管路，其特征是，所述沉积室内部设置有压力传感器，所述压力传感器与外部的自适应模糊控制器连接，所述真空泵组与沉积室连接管路上设置有真空阀，所述进气管路上设置有气体流量计，所述自适应模糊控制器分别通过线路与真空阀、气体流量计相连，自适应模糊控制器有着原理简单，使用方便，适应性强的特点，该系统非常适合于CVD生产中的工艺控制过程。使用自适应模糊控制系统，甚至可以实现远程监控，一人监控多台设备等，节省人力资源，有效提高工艺的稳定性。

著录项

  • 公开/公告号CN214422751U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-10-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 常州翊翔炭材科技有限公司;

    申请/专利号CN202023127229.1

  • 发明设计人 楼建军;

    申请日2020-12-23

  • 分类号C23C16/52(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/26(20060101);

  • 代理机构32233 常州市夏成专利事务所(普通合伙);

  • 代理人沈毅

  • 地址 213000 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区新雅路18号295室

  • 入库时间 2022-08-23 01:05:13

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