公开/公告号CN215102828U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 四川虹科创新科技有限公司;
申请/专利号CN202121667992.5
申请日2021-07-21
分类号C03B18/18(20060101);C03B18/16(20060101);
代理机构11394 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人孔鹏
地址 621011 四川省绵阳市经开区涪滨路北段177号
入库时间 2022-08-23 03:08:41
机译: 用于沉积薄片的加热装置,具有流道生产盖,该流道生产盖包括内部区域并且胶粘在晶片支撑板的下侧,晶片被放置在该晶片支撑板的下侧上,并且抽吸孔形成在突起之间
机译: 带止流塞的流量控制阀-固定在流道中,盖在流向上加宽,边缘与流道下游的肩部隔开
机译: 热交换器具有带有吸热侧和散热侧的换热器壁,在两侧均设有通道盖,在通道盖与吸热或散热侧之间形成流道。