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一种SEMI E84接口的测试装置

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本实用新型公开了一种SEMI E84接口的测试装置，包括电控盒、传感器单元和包含待测接口的设备，所述传感器单元包括传感器接口，所述电控盒包括控制接口；其中，所述传感器接口、待测接口和控制接口的类型相同，所述电控盒包括控制器，所述传感器接口通过待测接口连接设备，同时所述传感器接口通过控制接口连接控制器；所述控制器通过传感器单元向设备发送使能信号，并读取设备的反馈信号，若反馈信号正常，则待测接口测试完成；若反馈信号异常，则输出报错信息。本实用新型提供的一种SEMI E84接口的测试装置，具有低成本、便携和操作简单以及远程控制的优势，不必依赖电脑和专用软件。

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公开/公告号CN215180548U

专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-14

原文格式PDF
申请/专利权人上海广川科技有限公司;
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申请/专利号CN202120476985.0
发明设计人董怀宝;
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申请日2021-03-05
分类号G01R31/00(20060101);G01R31/26(20140101);G01R1/04(20060101);
代理机构31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人陶金龙;吴世华
地址 200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层
入库时间 2022-08-23 03:15:07

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