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一种复合型纳米膜厚标准样板

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本实用新型为一种复合型纳米膜厚标准样板，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。

著录项

公开/公告号CN215261700U

专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-21

原文格式PDF
申请/专利权人上海市计量测试技术研究院;中国计量大学;
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申请/专利号CN202120786965.3
发明设计人雷李华;管钰晴;傅云霞;曾燕华;杜黎明;唐冬梅;邹文哲;
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申请日2021-04-17
分类号G01B21/08(20060101);G01B11/06(20060101);
代理机构31113 上海浦东良风专利代理有限责任公司;
代理人龚英
地址 201203 上海市浦东新区张衡路1500号
入库时间 2022-08-23 03:32:43

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