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一种蓝膜张紧度调节装置和裂片设备

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本申请涉及LED晶圆加工技术领域，涉及一种蓝膜张紧度调节装置和裂片设备。该蓝膜张紧度调节装置包括：台板、托板和受台组件；托板嵌于台板上，托板上设有若干第一螺钉，旋转第一螺钉，能够改变第一螺钉的端部凸出于托板的长度；台板和托板形成有相互贯通的中空结构，用于放置受台组件，托板上固设有蓝膜，受台组件的端部凸出于托板的上表面并与蓝膜的下表面抵接；台板通过若干第二螺钉与托板连接；托板能够在第一螺钉的作用下远离或靠近台板，以调节蓝膜的张紧度。本申请提供的蓝膜张紧度调节装置适用于不同厂家、不同蓝膜、不同晶圆需求的张紧度，提高了晶圆的劈裂效果和劈裂精度，提高芯片的质量。

著录项

公开/公告号CN215644406U

专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-25

原文格式PDF
申请/专利权人大族激光科技产业集团股份有限公司;
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申请/专利号CN202121215473.5
发明设计人刘友月;陈俊波;聂昆深;周福海;黄韶湖;余俊华;尹建刚;高云峰;
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申请日2021-06-01
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/687(20060101);
代理机构44385 深圳市世联合知识产权代理有限公司;
代理人刘畅
地址 518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号
入库时间 2022-08-23 04:11:39

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-08-09

专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/67 专利号:ZL2021212154735 登记生效日:20220727 变更事项:专利权人变更前权利人:大族激光科技产业集团股份有限公司变更后权利人:深圳市大族半导体装备科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101

专利申请权、专利权的转移

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