公开/公告号CN215640823U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 齐鲁工业大学;
申请/专利号CN202121557205.1
申请日2021-07-09
分类号G01N21/01(20060101);G01N21/3563(20140101);
代理机构37218 济南泉城专利商标事务所;
代理人王翠翠
地址 250399 山东省济南市长清区大学路3501号
入库时间 2022-08-23 04:12:16
机译: 一种用于计算和表征悬浮在具有预定折射率的流体介质中的微观小颗粒的装置
机译: 半导体晶圆制造过程的实时原位监测方法及系统
机译: 半导体晶片制造过程的实时和原位监测方法和系统