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一种高能粒子表面处理系统

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本实用新型公开了一种高能粒子表面处理系统，包括底座，所述底座的上端左部固定连接有电气控制箱，所述底座的上端右部固定连接有排气装置，所述排气装置的左端上部穿插固定连接有工作腔室，所述工作腔室的上端中部穿插固定连接有调节装置，所述调节装置的下端中部设置有产品台架，所述工作腔室的左端通过合页活动连接有密封门，所述工作腔室的下端中部固定连接有导入器，所述导入器的上端贯穿工作腔室的下腔壁并固定连接有离子赋能器。本实用新型的一种高能粒子表面处理系统，提供一种低应力、高精度的加工方式，通过高能离子对产品表面的轰击可以促使金属、非金属产品的表面的分子、原子的迁移，从而达到产品表面处理的目的，适合广泛运用。

著录项

公开/公告号CN215771059U

专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-08

原文格式PDF
申请/专利权人常州鑫立离子技术有限公司;
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申请/专利号CN202122249896.5
发明设计人陈晓东;
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申请日2021-09-16
分类号H01J37/30(20060101);H01J37/20(20060101);H01J37/18(20060101);
代理机构
代理人
地址 213114 江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村
入库时间 2022-08-23 04:35:04

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