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凹槽检测台及包含该凹槽检测台的传感器检测装置

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本实用新型公开了凹槽检测台及包含该凹槽检测台的传感器检测装置,凹槽检测台，所述检测台包括下部矩形底座和设置在底座上部的观察板,底座中部设置有用于放置待测硅片的凹槽,观察板上设置有两个矩形观察洞口，相邻两个观察洞口之间的板体上还开设有滴液长孔，观察板底部、滴液长孔正下方四周边缘设置有密封垫层，所述底座和观察板的四个角部分别对称设置用于穿过螺栓的孔洞。本实用新型提供的凹槽检测台，制作简单、材料来源广泛、成本低廉，组装方便，视野好。精度高。填补了现阶段实验没有合适装置的空白。

著录项

公开/公告号CN216117431U

专利类型实用新型
公开/公告日2022-03-22

原文格式PDF
申请/专利权人浙江工贸职业技术学院;
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申请/专利号CN202122319745.2
发明设计人唐星星;刘楠楠;沈国敏;
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申请日2021-09-24
分类号G01N27/00(20060101);
代理机构11004 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人周娓娓;晁璐松
地址 325088 浙江省温州市鹿城区黎明东路19号
入库时间 2022-08-23 05:36:58

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2022-03-22

授权

实用新型专利权授予

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