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一种甩干装置及晶圆甩干机

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摘要

本实用新型实施例公开了一种甩干装置及晶圆甩干机，其中甩干装置包括甩干筒、转动机构、中空电机、排水机构和支撑机构，转动机构包括用于放置晶圆组件的甩干盘，和与甩干盘相连的传动轴；中空电机与传动轴相连，传动轴能够在中空电机的作用下带动甩干盘转动，以对晶圆组件进行清洗。和现有技术相比，本实用新型实施例采用了中空电机作为驱动机构，中空电机可有效减小振动，不仅使得整个甩干装置的稳定性提升，而且还能够有效避免碎片发生。

著录项

  • 公开/公告号CN217275357U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-08-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 广东长信精密设备有限公司;

    申请/专利号CN202220988954.8

  • 发明设计人 邱文金;罗家明;

    申请日2022-04-26

  • 分类号F26B11/18;F26B25/06;F26B25/18;F26B25/02;F26B21/14;

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人韩静粉

  • 地址 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间

  • 入库时间 2022-09-26 23:50:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-08-23

    授权

    实用新型专利权授予

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