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无定形碳膜、无定形碳膜的形成方法、具备无定形碳膜的导电性构件和燃料电池用隔板

摘要

一种无定形碳膜,以碳为主成分,包含30at%以下的氢、20at%以下的氮以及3at%以下的氧,且在将该碳的总量设为100at%时,具有sp2杂化轨道的碳量为70at%以上且小于100at%,所述氢、氮以及氧的含量都不包括0at%。氮和氧在膜表面侧浓化而存在,利用X射线光电子光谱法从表层检测到的氧的含有率为4at%以上15at%以下、氮的含有率为10at%以上30at%以下。无定形碳膜兼具导电性和亲水性,显示出适合于燃料电池用隔板等的表面性状。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-24

    授权

    授权

  • 2014-10-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20130125

    实质审查的生效

  • 2014-10-01

    公开

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