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一种晶圆清洗工艺专用烘干设备

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆清洗工艺专用烘干设备，涉及到晶圆烘干技术领域，包括柜体，所述柜体上安装有热风机，所述柜体的顶板内部设置有气腔，且所述气腔与所述热风机的出气管相通，所述柜体的顶部设置有若干个与所述气腔相通的排气管，所述柜体的内腔安装有方便同时对晶圆两端面进行烘干的安装架，所述安装架设置有两个，且呈上下设置，位于所述安装架的下方设置有四棱锥形的接液槽，且所述接液槽的出液端与出液管连接，所述出液管的排液端贯穿所述柜体。本实用新型结构合理，热风机产生的热风从上至下流动，使得竖直设置的晶圆的两端面均可以与流动的热风接触，从而同时对晶圆的两面进行干燥。

著录项

  • 公开/公告号CN218238225U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2023-01-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司;

    申请/专利号CN202222497912.7

  • 发明设计人 侯明;林崧;张德海;

    申请日2022-09-21

  • 分类号F26B11/18;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/18;F26B25/02;

  • 代理机构铜陵市天成专利事务所(普通合伙);

  • 代理人李坤

  • 地址 244000 安徽省铜陵市义安区南海路

  • 入库时间 2023-01-12 18:57:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-01-06

    授权

    实用新型专利权授予

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