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包含纳米结构抗反膜的晶体硅太阳能电池及其制备方法

摘要

一种包含纳米结构抗反膜的晶体硅太阳能电池,包括自下而上的金属背场与背电极、单晶硅基体、PN结有源层、抗反膜、及栅电极,其特征在于,所述抗反膜有若干层,自下而上的抗反膜的折射率逐渐减小。其制备方法是采用斜角入射物理沉积法,通过调整入射角度和沉积材料,生成多层折射率不同的抗反膜。本发明大大优化了硅太阳能电池的光吸收,从而提高了电池效率。这种方法不会损伤硅晶体本身的光伏特性,能够真正将多吸收的光转化为电能。提高光转化效率,将极大地推动太阳能电池产品的发展。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-09-07

    授权

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  • 2013-05-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0216 申请日:20130125

    实质审查的生效

  • 2013-04-10

    公开

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