• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 施瓦茨光学系统波像差测量方法

施瓦茨光学系统波像差测量方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

一种施瓦茨光学系统波像差测量方法，该方法基于光栅横向剪切干涉测量装置，测量时将待测施瓦茨光学系统置于所述光栅横向剪切干涉测量装置的针孔掩模和剪切光栅之间，测量步骤如下：①获取x方向和y方向的横向剪切干涉图；②获取x方向和y方向的差分波前；③获取待测波前的环Zernike多项式系数。本发明的优点是将差分波前拟合得到差分环Zernike多项式，直接得到待测环形波前的环Zernike多项式系数，通过所述的前J项环Zernike多项式系数

著录项

  • 公开/公告号CN104236855B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-09-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;

    申请/专利号CN201410455642.0

  • 发明设计人 戴凤钊;王向朝;蔡燕民;

    申请日2014-09-09

  • 分类号

  • 代理机构上海新天专利代理有限公司;

  • 代理人张泽纯

  • 地址 201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱

  • 入库时间 2022-08-23 09:47:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-09-21

    授权

    授权

  • 2015-01-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20140909

    实质审查的生效

  • 2014-12-24

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号