法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H02P 5/00 授权公告日:20051026 终止日期:20160509 申请日:20020509
专利权的终止
2005-10-26
授权
授权
2003-03-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2002-12-11
公开
公开
2002-09-11
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 运动体租赁系统,运动体控制系统,运动体系统,运动体控制器,运动体租赁方法,运动体控制方法和记录介质
机译: 活动体驱动方法和活动体驱动系统,图案形成方法和设备,曝光方法和设备,器件制造方法,测量方法和位置测量系统
机译: 活动体驱动方法和活动体驱动系统,图案形成方法和设备,曝光方法和设备,器件制造方法和测量方法