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以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法

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摘要

本发明公开了一种以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法，属于气密式密封元器件密封性检测领域，为解决现有可用检测技术仪器不能满足高精度检测要求的问题而设计。本发明以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法，采用该方法的氦气含量法或氩气含量法对密封元器件进行内部气体质谱分析，判定被检测密封元器件的密封性是否合格。该方法包括步骤：1.判断采用氦气含量法或氩气含量法；2.设计；3.压氦或压氩；4.粗漏检测；5.内部气体质谱分析。本发明提高了密封性细漏检测的灵敏度和准确性，并避免粗漏大漏的漏检和细漏的错判，适用于鉴定检验、周期检验和认证检测等破坏性的检测。

著录项

  • 公开/公告号CN103542988B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-01-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京市科通电子继电器总厂有限公司;

    申请/专利号CN201310504713.7

  • 发明设计人 王庚林;李飞;李宁博;刘永敏;

    申请日2013-10-23

  • 分类号

  • 代理机构北京品源专利代理有限公司;

  • 代理人胡彬

  • 地址 100041 北京市石景山区古城西路172号

  • 入库时间 2022-08-23 09:50:59

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-01-11

    授权

    授权

  • 2014-03-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 3/20 申请日:20131023

    实质审查的生效

  • 2014-01-29

    公开

    公开

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