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一种改进监视系统的有效面积法测量孔径光阑面积的装置

摘要

本发明一种改进监视系统的有效面积法测量孔径光阑面积的装置,涉及高精度测量光阑面积领域,解决了监视测量结果不准确的技术问题;本发明包括hene激光器、可变光阑A、光束分离器、可变光阑B和可变光阑C、x‑y平移台、监视系统和探测系统;所述探测系统包括积分球a和探测器a,探测器a安装在积分球a上,所述hene激光器、可变光阑A、光束分离器、可变光阑B、孔径光阑和探测系统的积分球从左至右依次排列,并且其中心在同一水平线上;本发明的监测系统与探测系统结构相同、型号相同、收集光束的方法相同,能够精准检测激光光束的稳定性,保证了监测结果的准确性。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-02-01

    授权

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  • 2014-09-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/28 申请日:20140508

    实质审查的生效

  • 2014-08-13

    公开

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