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一种聚焦离子束机台之探针的降震装置及其降震方法

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摘要

一种聚焦离子束机台之探针的降震装置，包括：真空罩，所述真空罩扣合在探针之外端处，并与所述探针围闭形成密闭空间，且所述密闭空间呈真空设置。综上所述，本发明通过在探针之外端的外围处设置真空罩，所述真空罩并与所述探针围闭形成密闭空间，且所述密闭空间呈真空设置，阻碍了震动波的传播，极大的改善了外部环境对所述聚焦离子束机台之探针带来的震动影响，降低样品抖落的机会，改善了样品制备的效率和工艺产品的循环时间。

著录项

  • 公开/公告号CN103969104B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-02-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201410217853.0

  • 发明设计人 刘永波;顾晓芳;倪棋梁;龙吟;陈宏璘;

    申请日2014-05-21

  • 分类号

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人王宏婧

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

  • 入库时间 2022-08-23 09:52:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-02-22

    授权

    授权

  • 2014-09-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/36 申请日:20140521

    实质审查的生效

  • 2014-08-06

    公开

    公开

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