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一种铜锌锡硫薄膜的光化学制备方法及其铜锌锡硫薄膜与铜锌锡硫太阳能电池

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本发明属于半导体光电材料与器件技术领域，具体公开了一种铜锌锡硫薄膜的光化学制备方法及其铜锌锡硫薄膜与铜锌锡硫太阳能电池；所述铜锌锡硫薄膜是在紫外光的照射下在衬底上进行沉积，由于沉积是在液相中进行的，反应是低温沉积过程，因此避免了衬底的氧化和腐蚀；而且反应的基本基团是离子，较容易沉积得到均匀一致的薄膜；另外，薄膜的沉积只在紫外光光照的位置发生，因此可以通过控制光斑的位置和形状来控制薄膜形状，通过控制紫外光的照射时间来控制薄膜厚度；该方法生产成本低，设备简单，反应条件温和，对材料的利用率高，容易制备出大面积较均匀的薄膜。

著录项

公开/公告号CN104795468B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-15

原文格式PDF
申请/专利权人岭南师范学院;
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申请/专利号CN201510186553.5
发明设计人张军;莫德云;邵乐喜;廖峻;何伟坚;彭晓霞;
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申请日2015-04-20
分类号
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人张月光
地址 524048 广东省湛江市赤坎区寸金路29号
入库时间 2022-08-23 09:53:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-03-15

授权

授权
2015-08-19

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20150420

实质审查的生效
2015-07-22

公开

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