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小型制造装置以及使用该小型制造装置的制造系统

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一种易于使前室在对处理基板实施的处理的种类不同的多个制造装置之间通用的制造系统。根据本发明的制造系统，能够使该制造装置的开发成本、制造成本廉价化。对小型制造装置的处理室和前室个别地设置控制部。当处理室控制部输出了搬入请求信号时，前室控制部将处理基板搬入到处理室，并输出搬入通知信号。处理室控制部当被输入搬入通知信号时进行处理基板的处理，在处理结束后输出搬出请求信号。前室控制部当被输入搬出请求信号时开始搬出处理基板，当从处理室搬出了该处理基板时，输出搬出通知信号。处理室当被输入搬出通知信号时开始下一次处理的准备。

著录项

公开/公告号CN105009270B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-30

原文格式PDF
申请/专利权人独立行政法人产业技术综合研究所;
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申请/专利号CN201480009585.1
发明设计人原史朗;前川仁;中野禅;
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申请日2014-02-17
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:58:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-06-30

授权

授权
2015-11-25

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20140217

实质审查的生效
2015-10-28

公开

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