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表面性能测定仪及表面性能测定方法

摘要

一种表面性能测定仪及表面性能测定方法,执行包含如下动作:助起动区间设定动作,使触针向原点移动,当触针到达原点位置,则将触针制动,使触针在越过原点位置的状态下停止,在该状态下,等待测定开始的指示;工件调整动作,使停止的触针和工件的测定部位接触;助起动动作,使停止的触针向与所述越过方向反向的测定方向移动;测定动作,当触针通过助起动动作而穿过了原点位置,则取得来自检测器的检测数据的同时继续触针的移动。

著录项

  • 公开/公告号CN103322966B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社三丰;

    申请/专利号CN201310085026.6

  • 发明设计人 本田博臣;黑木真吾;

    申请日2013-03-18

  • 分类号

  • 代理机构北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人张劲松

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2022-08-23 09:59:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-08-25

    授权

    授权

  • 2015-02-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/30 申请日:20130318

    实质审查的生效

  • 2015-02-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/30 申请日:20130318

    实质审查的生效

  • 2013-09-25

    公开

    公开

  • 2013-09-25

    公开

    公开

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