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油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器

摘要

提供一种油扩散泵,其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵,其中,在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70),通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气,将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备:在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体);隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75);以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且,构成为,通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电,由此使外壳(71)自身加热,从而使工作油(8)气化。

著录项

  • 公开/公告号CN106104009B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-09-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社新柯隆;

    申请/专利号CN201480077167.6

  • 发明设计人 税所慎一郎;

    申请日2014-06-24

  • 分类号

  • 代理机构北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人李辉

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2022-08-23 10:00:33

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-08

    授权

    授权

  • 2016-12-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):F04F 9/00 申请日:20140624

    实质审查的生效

  • 2016-12-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):F04F 9/00 申请日:20140624

    实质审查的生效

  • 2016-11-09

    公开

    公开

  • 2016-11-09

    公开

    公开

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