公开/公告号CN103632924B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-20
原文格式PDF
申请/专利权人 法国原子能及替代能源委员会;
申请/专利号CN201310364487.7
发明设计人 奥雷莉·托赞;
申请日2013-08-20
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人余刚
地址 法国巴黎
入库时间 2022-08-23 10:01:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/02 授权公告日:20171020 终止日期:20190820 申请日:20130820
专利权的终止
2017-10-20
授权
授权
2017-10-20
授权
授权
2015-07-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20130820
实质审查的生效
2015-07-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20130820
实质审查的生效
2015-07-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20130820
实质审查的生效
2014-03-12
公开
公开
2014-03-12
公开
公开
2014-03-12
公开
公开
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