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涂液观察方法、涂布方法、涂液观察装置及涂布装置

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摘要

本发明提供能容易地对涂布于载膜的涂液的积液形状线、涂布缺陷进行检测的涂液观察方法、涂布方法、涂液观察装置及涂布装置。将从涂布头(12)喷射出的浆料(S)连续涂布于由传送辊(18、20)进行传送的载膜(F)的一个主面。另一方面，从载膜(F)的另一主面侧向涂布于载膜(F)的浆料(S)照射从照射装置(34、36)所发出的红外线。利用摄像机(32)来对因浆料(S)而散射的红外线散射光进行拍摄。基于从摄像机(32)输出的图像数据来对浆料(S)的涂布状态进行观察。另外，根据所观察到的涂布状态来对浆料(S)的提供量、载膜(F)的张力等涂布设定进行变更。

著录项

  • 公开/公告号CN104549940B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-11-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社村田制作所;

    申请/专利号CN201410509533.2

  • 发明设计人 槙野弘章;长岛充;

    申请日2014-09-28

  • 分类号B05D1/12(20060101);B05D3/06(20060101);B05C5/00(20060101);B05C11/10(20060101);B05C11/00(20060101);G01N21/88(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人熊风

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2022-08-23 10:04:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-11-24

    授权

    授权

  • 2015-05-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):B05D1/12 申请日:20140928

    实质审查的生效

  • 2015-04-29

    公开

    公开

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