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具有集成光电二极管的微机械构件以及微投影仪

摘要

本发明基于一种微机械构件(500),其具有至少一个微镜(510)。本发明的核心在于,所述微机械构件(500)具有集成光电二极管(550)。本发明也涉及一种微投影仪,其具有光源和微机械构件(500),所述微机械构件具有至少一个微镜(510),其中,所述微机械构件(500)具有用于接收光源的光的集成光电二极管(550)。

著录项

  • 公开/公告号CN104555886B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-01-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;

    申请/专利号CN201410538853.0

  • 申请日2014-10-13

  • 分类号B81B7/02(20060101);H01L31/101(20060101);H01S5/02(20060101);G02B26/08(20060101);G03B21/20(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人郭毅

  • 地址 德国斯图加特

  • 入库时间 2022-08-23 10:06:24

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-09

    授权

    授权

  • 2016-11-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81B7/02 申请日:20141013

    实质审查的生效

  • 2015-04-29

    公开

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