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一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层及其制备方法,其组分与重量百分比的比例如下:磨料0.5%~10%,光固化树脂5%~45%,活性稀释剂5%~41%,光引发剂4%~7%,促进剂0.05%~5%,表面性能调节剂0.05%~3%,辅助剂0.05%~5%,填料1%~4%,颜料0.02%。本发明操作过程简单、成本低廉,易于产业化和推广应用,具有广阔的市场前景,经济效益和社会效益显著。

著录项

  • 公开/公告号CN105150120B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-03-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 河南科技学院;

    申请/专利号CN201510554465.6

  • 申请日2015-09-01

  • 分类号

  • 代理机构新乡市平原专利有限责任公司;

  • 代理人吕振安

  • 地址 453003 河南省新乡市华兰大道东段河南科技学院机电学院

  • 入库时间 2022-08-23 10:09:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-18

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24D3/00 授权公告日:20180330 终止日期:20190901 申请日:20150901

    专利权的终止

  • 2018-03-30

    授权

    授权

  • 2016-01-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):B24D3/00 申请日:20150901

    实质审查的生效

  • 2015-12-16

    公开

    公开

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