法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24D3/00 授权公告日:20180330 终止日期:20190901 申请日:20150901
专利权的终止
2018-03-30
授权
授权
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):B24D3/00 申请日:20150901
实质审查的生效
2015-12-16
公开
公开
机译: 使用固定的磨料抛光垫和铜层化学机械抛光解决方案的铜化学机械抛光工艺,特别适用于固定的磨料抛光垫进行化学机械抛光
机译: 使用固定的磨料抛光垫和铜层化学机械抛光解决方案的铜化学机械抛光工艺,特别适用于固定的磨料抛光垫进行化学机械抛光
机译: 使用固定的磨料抛光垫和专门用于化学机械抛光固定的磨料的铜层化学机械抛光溶液的铜化学机械抛光工艺