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多重反应模式的混合负型光阻剂及形成光阻图案的方法

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本发明涉及一种多重反应模式的混合负型光阻剂及形成光阻图案的方法；该混合负型光阻剂包括树脂化合物、重量百分比为0.1-35%的光聚合起始剂、重量百分比为0.1-100%的自由基反应性单体、重量百分比为0.1-35%的光酸产生剂、及重量百分比为0.1-35%的阳离子反应性单体；其中该重量百分比以树脂化合物的重量为基准；采用本发明的光阻剂及形成光阻图案的方法，可以用来控制光阻剂的光反应效率并增加反应完整度，得到更佳的光阻分辨率。

著录项

公开/公告号CN1280675C

专利类型发明授权
公开/公告日2006-10-18

原文格式PDF
申请/专利权人财团法人工业技术研究院;长春人造树脂厂股份有限公司;
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申请/专利号CN03101762.2
发明设计人宋清潭;庄志新;曾炜展;黄坤源;陈聪裕;
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申请日2003-01-22
分类号
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人楼仙英
地址台湾省新竹县
入库时间 2022-08-23 08:58:55

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2006-10-18

授权

授权
2004-10-20

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-08-11

公开

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