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公开/公告号CN104246667B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-10
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201280071777.6
发明设计人 J·格里尔梅耶;T·W·齐尔鲍尔;
申请日2012-03-30
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆勍
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:10:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-10
授权
2015-03-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F3/041 申请日:20120330
实质审查的生效
2014-12-24
公开
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