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极紫外（EUV）辐射源

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极紫外(EUV)辐射源粒料(8)包括至少一个金属颗粒(30)，该至少一个金属颗粒嵌入在重惰性气体团簇(20)内，该重惰性气体团簇包含在惰性气体壳团簇(10)内。EUV辐射源组件可以通过至少一个第一激光脉冲和至少一个第二激光脉冲的顺序照射得以激活。每个第一激光脉冲通过从至少一个金属颗粒(30)分离外轨道电子并将电子释放到重惰性气体团簇(20)中而产生等离子体。每个第二激光脉冲放大嵌入在重惰性气体团簇(20)中的等离子体，触发激光驱动的自放大过程。经放大的等离子体引发重惰性气体和其他构成原子中的轨道间电子跃迁，导致EUV辐射的发射。激光脉冲单元可以与源粒料产生单元组合以形成集成的EUV源系统。

著录项

公开/公告号CN106605450B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-11

原文格式PDF
申请/专利权人国际商业机器公司;
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申请/专利号CN201580047065.4
发明设计人 V·V·德什潘德;S·V·德什潘德;D·克利斯;O·格鲁申克夫;S·克里什南;
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申请日2015-09-01
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人酆迅
地址美国纽约阿芒克
入库时间 2022-08-23 10:11:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-05-11

授权

授权
2017-05-24

实质审查的生效 IPC(主分类):H05G2/00 申请日:20150901

实质审查的生效
2017-04-26

公开

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