• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 用于获取距离差的光学测量装置以及光学测量方法

用于获取距离差的光学测量装置以及光学测量方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

用于获取台阶高度的光学测量装置以及光学测量方法。发明涉及一种光学测量装置，所述光学测量装置用于原位获取支座(8)与要被测量的物体(12)的边缘区域(10)之间的距离差(6)。该光学测量装置具有：具有双束引导(15)的测量头(14)，所述测量头(14)将第一测量束(16)引向支座(8)，并且将第二测量束(18)引向要被测量的物体(12)的边缘区域(10)。提供用于获取并且形成被引向支座(8)的第一测量束(16)的反射光谱，以及被引向要被测量的物体(12)的边缘区域(10)的第二测量束(18)的反射光谱的工具。测量装置具有配设一个光谱线(72)的多通道测量设备(34)。用于获取支座(8)与物体(12)的边缘区域(10)之间的台阶高度的针对反射光谱的评估单元(32)，与光谱仪(48)和显示单元(66)一起工作。

著录项

  • 公开/公告号CN105324629B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-08-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 普雷茨特激光技术有限公司;

    申请/专利号CN201480034685.X

  • 发明设计人 米歇尔特·博索德;昆克尔·玛西尔斯;

    申请日2014-06-17

  • 分类号

  • 代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘灿强

  • 地址 德国黑森州新伊森堡

  • 入库时间 2022-08-23 10:15:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-24

    授权

    授权

  • 2016-03-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/245 申请日:20140617

    实质审查的生效

  • 2016-02-10

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号