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一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法

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本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹参数为：反应室温度100‑500 ^oC；钛源：四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛；氮源：氨气或者氨气等离子体；载气：钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；氮源使用高纯氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；脉冲和清洗时间：钛源脉冲为0.1‑10 s；每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s；氮源脉冲为5‑60s，紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s，冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行，产品的可见光催化性能显著增强。

著录项

公开/公告号CN106268903B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-24

原文格式PDF
申请/专利权人南京大学;
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申请/专利号CN201610582290.4
发明设计人李爱东;曹燕强;赵希瑞;陈君;吴迪;
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申请日2016-07-22
分类号B01J27/24(20060101);
代理机构32237 江苏圣典律师事务所;
代理人贺翔
地址 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
入库时间 2022-08-23 10:15:44

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-08-24

授权

授权
2017-02-01

实质审查的生效 IPC(主分类):B01J27/24 申请日:20160722

实质审查的生效
2017-01-04

公开

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1. 一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法 [P] . 中国专利： CN106268903B . 2018.08.24
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