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掺杂Mn的PZT系压电膜形成用组合物及掺杂Mn的PZT系压电膜

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摘要

本发明涉及一种用于形成PZT系压电膜的组合物，该PZT系压电膜由掺杂Mn的复合金属氧化物所构成，所述组合物含有PZT系前体、二醇及聚乙烯吡咯烷酮，该PZT系前体包含构成所述复合金属氧化物的各金属原子，且所述组合物以如下比例含有所述PZT系前体：将所述组合物中的金属原子比表示为Pb:Mn:Zr:Ti时，Pb满足1.00～1.20、Mn满足0.002以上且小于0.05、Zr满足0.40～0.55、Ti满足0.45～0.60，且所述Zr与所述Ti的金属原子比的合计比例成为1。

著录项

  • 公开/公告号CN106104826B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-09-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱综合材料株式会社;

    申请/专利号CN201580015871.3

  • 发明设计人 土井利浩;樱井英章;曽山信幸;

    申请日2015-03-27

  • 分类号H01L41/318(20060101);C04B35/491(20060101);H01B3/12(20060101);H01L41/187(20060101);

  • 代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;

  • 代理人康泉;王珍仙

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 10:16:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-14

    授权

    授权

  • 2016-12-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/318 申请日:20150327

    实质审查的生效

  • 2016-12-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/318 申请日:20150327

    实质审查的生效

  • 2016-11-09

    公开

    公开

  • 2016-11-09

    公开

    公开

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