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一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法

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本发明涉及半导体和太阳能硅材料技术领域，具体地说是一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法。一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法，采用金刚石线在去离子水中切割硅片后所产生的硅粉水溶液作为原材料，制备方法如下：将硅粉水溶液经过提纯获得的水合硅微粒；将水合硅微粒可在氢氟酸与硝酸水溶液中通过化学腐蚀工艺制备出纳米多孔硅微粒；将纳米多孔硅微粒直接进行加热后可制备出高比表面积的纳米多孔水合氧化硅或氧化硅微粒材料，作为高效吸附或过滤材料使用。同现有技术相比，提供一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法，经生产工艺改进后，将硅微粒转化为水合纳米多孔硅和氧化硅微粒，使其得以资源化利用。

著录项

公开/公告号CN106000286B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-16

原文格式PDF
申请/专利权人上海纳晶科技有限公司;
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申请/专利号CN201610374292.4
发明设计人孙卓;刘素霞;
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申请日2016-05-31
分类号
代理机构北京连城创新知识产权代理有限公司;
代理人刘伍堂
地址 200062 上海市普陀区中山北路3663号理科大楼A6
入库时间 2022-08-23 10:20:46

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-11-16

授权

授权
2016-11-09

实质审查的生效 IPC(主分类):B01J20/10 申请日:20160531

实质审查的生效
2016-11-09

实质审查的生效 IPC(主分类):B01J 20/10 申请日:20160531

实质审查的生效
2016-10-12

公开

公开
2016-10-12

公开

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