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机器视觉检查系统和进行高速对焦高度测量操作的方法

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摘要

本发明涉及一种包括照明源和摄像系统的机器视觉检查系统和用于进行高速对焦高度测量操作的方法。所述方法包括以下步骤：将工件放置在所述机器视觉检查系统的视场内；确定对焦高度测量操作所用的关注区域；使所述照明源进行工作，以利用频闪照明对所述工件进行照明；在所述工件附近的沿着Z高度方向的多个位置上，定期对所述摄像系统的焦点位置进行调制；收集图像栈，其中所述图像栈的各图像与频闪照明的实例相对应，所述频闪照明的实例与同所述图像栈内的适当Z高度相对应的调制后的焦点位置的相位一致；以及确定所述关注区域的至少一部分的Z高度测量值。

著录项

公开/公告号CN104236463B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-07

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社三丰;
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申请/专利号CN201410265860.8
发明设计人 P·格拉德尼克;
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申请日2014-06-13
分类号G01B11/02(20060101);
代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址日本神奈川县
入库时间 2022-08-23 10:22:18

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-07

授权

授权
2016-06-29

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/02 申请日:20140613

实质审查的生效
2016-06-29

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20140613

实质审查的生效
2014-12-24

公开

公开
2014-12-24

公开

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