公开/公告号CN1317737C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-05-23
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春应用化学研究所;
申请/专利号CN200410011299.7
申请日2004-12-03
分类号H01L21/00(20060101);H01L33/00(20060101);H01L31/18(20060101);H05B33/12(20060101);H01S5/00(20060101);B82B3/00(20060101);C01B21/00(20060101);C01B17/00(20060101);C01G11/00(20060101);C09K11/08(20060101);
代理机构
代理人
地址 130022 吉林省长春市人民大街5625号
入库时间 2022-08-23 08:59:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20070523 终止日期:20181203 申请日:20041203
专利权的终止
2017-05-03
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/00 登记生效日:20170412 变更前: 变更后: 申请日:20041203
专利申请权、专利权的转移
2017-05-03
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/00 登记生效日:20170412 变更前: 变更后: 申请日:20041203
专利申请权、专利权的转移
2007-05-23
授权
授权
2007-05-23
授权
授权
2005-09-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-27
公开
公开
2005-07-27
公开
公开
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