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用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜以及铁电薄膜的制造方法

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摘要

本发明提供了能够有效地防止条痕的产生，并且能够扩大溶胶组合物选择范围的用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜以及铁电薄膜的制造方法。通过使含有作为铁电薄膜形成材料的金属化合物的用于形成铁电薄膜的组合物包含下述的疏水性化合物，可以有效地抑制条痕的产生，并能够扩大溶胶组合物的选择范围，其中所述疏水性化合物具有与羟基反应的反应基团，同时除所述反应基团之外的余下部分的至少端部侧具有疏水性。

著录项

公开/公告号CN1323979C

专利类型发明授权
公开/公告日2007-07-04

原文格式PDF
申请/专利权人精工爱普生株式会社;
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申请/专利号CN200410062547.0
发明设计人角浩二;
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申请日2004-06-30
分类号C04B35/00(20060101);C04B35/632(20060101);C01G57/00(20060101);
代理机构11258 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人柳春雷
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 08:59:28

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-08-13

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C04B 35/00 授权公告日:20070704 终止日期:20130630 申请日:20040630

专利权的终止
2007-07-04

授权

授权
2005-06-29

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-04-27

公开

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